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VY-DO50/0.22 光谱共焦色散物镜
用于光谱共焦位移与测厚系统，采用宽波段色散设计，物方NA 0.22，工作波段400–700nm，工作距离约90mm，可实现高质量轴上共焦成像，适用于微厚度、微位移及表面形貌检测。
适用于： · 半导体与晶圆检测 · 薄膜与材料测厚 · 玻璃与光学元件检测 · MEMS微结构检测 · 精密零部件测量 · 表面形貌与微位移检测
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