VY-DO50/0.22 光谱共焦色散物镜
用于光谱共焦位移与测厚系统，采用宽波段色散设计，物方NA 0.22，工作波段400–700nm，工作距离约90mm，可实现高质量轴上共焦成像，适用于微厚度、微位移及表面形貌检测。
适用于： · 半导体与晶圆检测 · 薄膜与材料测厚 · 玻璃与光学元件检测 · MEMS微结构检测 · 精密零部件测量 · 表面形貌与微位移检测
产品概览
VY-DO50/0.22 光谱共焦色散物镜
VY-DO50/0.22是一款用于光谱共焦检测的精密色散物镜，采用宽波段光学设计，可配合点扫描系统实现稳定的共焦信号采集。 产品具有较大的物方数值孔径和较高的光能集中度，支持半导体、薄膜、玻璃、蓝宝石及精密零部件等样品检测，并可根据工作波段、NA、工作距离及接口进行定制。
- 工作波段400–700nm
- 物方NA 0.22
- 工作距离约90mm
- 最小分辨细节≤1.2μm
- 轴上畸变＜0.1%
- 高能量集中度
- 适用于点扫描检测
- 支持参数定制
技术参数
技术指标
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